Wafer cassette lift

ウエハカセット昇降装置

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発塵が少なく、信頼性の高いウエハカセット 昇降装置を提供する。 【解決手段】 カセットローディング室2の下面を貫通 して昇降する昇降ロッド41と、昇降ロッド41の上部 に設けられた受台42と、受台42上に設けられた軸受 43と、直交する支持板51、52を備えたステージ5 と、二つの支持板51、52の接合部分の長手方向に沿 って固定され、かつ軸受43に回転自在に支持された回 転軸53とを備え、回転軸53に固定したローラ支持部 材6と、ローラ支持部材6の先端に回転自在に支持した ガイドローラと61、カセットローディング室2の下面 に固定したカム部材7と、カム部材7に設け、ステージ 5が回転軸53の回りに回転したときにガイドローラ6 1が移動する軌跡に沿って形成され、かつガイドローラ 61が係合し得るカム溝71とを備えたものである。し たがって、微細な塵の発生を防止することができる。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer cassette lift which little raises dust and has a high reliability. SOLUTION: A lift rod 41 which moves up and down through the bottom face of a cassette loading chamber 2, bearer disposed at the top of the lift rod 41, bearing 43 disposed on the bearer 42, stage 5 having orthogonally intersecting support plates 51, 52, and rotary shaft 53 which is fixed along the length of the two support plates 51, 52 and rotatably supported with the bearing 43 are provided. In this case a roller support 6 fixed to the rotary shaft 53, guide roller 61 rotatably supported on the top end of the roller support 6, cam 7 fixed to the bottom face of the cassette loading chamber 2, and cam groove 71 which is provided at the cam 7 and formed along a trace along which the guide roller 61 moves when the stage 5 rotates around the rotary shaft 53 and to which the guide roller 61 can couple are provided. Thus raised fine dust can be avoided. COPYRIGHT: (C)1999,JPO

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    CN-104752294-AJuly 01, 2015北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司片盒定位装置以及半导体加工设备
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    JP-2008085025-AApril 10, 2008Shin Etsu Polymer Co Ltd, 信越ポリマー株式会社Device and method for handling substrate
    JP-2009263136-ANovember 12, 2009Wirtgen Gmbh, ヴィルトゲン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングWirtgen GmbHFolding transport conveyor for construction machine, construction machine vehicle and method for pivoting transport conveyor
    JP-2017502520-AJanuary 19, 2017北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司カセット位置決め装置および半導体処理機器
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