結晶化装置、結晶化方法およびデバイス

Crystallization device, crystallization method and device

Abstract

【課題】結晶核からの十分なラテラル方向の結晶成長を実現して大粒径の結晶化半導体膜を生成することのできる結晶化装置。 【解決手段】互いに隣接するように配置された複数のレンズ要素からなるレンズアレイ(1)と、レンズアレイを照明するための照明系(2)とを備えている。照明系は、レンズアレイを介して半導体膜(3)に所定の光強度分布を有する光を照射して結晶化半導体膜を生成するために、光強度の異なる複数の光束を互いに異なる方向からレンズアレイに照射する。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crystallization device where crystal can sufficiently be grown in a lateral direction from a crystalline nucleus and the crystallized semiconductor film of a large particle size can be generated. <P>SOLUTION: The device is provided with a lens array (1) formed of a plurality of lens elements arranged so that they become adjacent, and an illumination system (2) for illuminating the lens array. The illumination system irradiates the lens array with a plurality of optical fluxes different in light intensity from different directions for irradiating a semiconductor film (3) with light having prescribed light intensity distribution through the lens array, and generating the crystallized semiconductor film. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

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    US-8426086-B2April 23, 2013Samsung Display Co., Ltd.Mask and method of manufacturing array substrate using the same
    US-8927199-B2January 06, 2015Samsung Display Co., Ltd.Mask and method of manufacturing array substrate using the same