Displacement measuring apparatus

変位測定装置

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform the detection of an origin which is superior in reproducibility from two directions along a measuring axis and is easily implementable. <P>SOLUTION: An origin signal Z is created from an origin raw signal ϕZ outputted from an photoelectric encoder. A counter 22 counts position pulses PULSE in two active periods of the origin signal Z. A counter 23 counts the position pulses PULSE in a period between the two active periods of the origin signal Z. A count value of the counter 22 in the first active period of the origin signal Z is halved and preset in the counter 23. A count value of the counter 23 is doubled and preset in the counter 22 at the setting of an origin. A count value of the counter 22 in the next active period of the origin signal Z is quartered and preset in the memory 29. A count value of the counter 23 in a non-active period of the origin signal Z is supplied for a comparator 30 at the reproduction of the origin. The comparator 30 outputs an origin output pulse P<SB>Z</SB>when a count value of the counter 23 is matched with a count value stored in the memory 29. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
【課題】測定軸に沿う双方向からの再現性に優れ、容易に実現できる信頼性の高い原点検出を行う。 【解決手段】光電式エンコーダから出力される原点原信号φZから原点信号Zが生成される。カウンタ22は、原点信号Zの2つのアクティブ期間に位置パルスPULSEをカウントする。カウンタ23は、原点信号Zの2つのアクティブ期間の間の期間に位置パルスPULSEをカウントする。原点信号Zの最初のアクティブ期間でのカウンタ22の計数値は、1/2にされてカウンタ23にプリセットされる。カウンタ23の計数値は、原点設定時には、2倍にされてカウンタ22にプリセットされる。原点信号Zの次のアクティブ期間でのカウンタ22の計数値は、1/4にされてメモリ29に記憶される。原点信号Zの非アクティブ期間でのカウンタ23の計数値は、原点再生時には、コンパレータ30に供給される。コンパレータ30は、カウンタ23の計数値がメモリ29に記憶された計数値と一致したときに原点出力パルスP Z を出力する。 【選択図】 図3

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